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半導(dǎo)體芯片制造部分關(guān)鍵工序中，穩(wěn)定可靠的高功率綠光、紫外和深紫外激光器是有效加工手段之一。我司是少數(shù)能夠提供應(yīng)用于LOW-K材料半導(dǎo)體晶圓分切的深紫外激光器的廠商之一，公司開發(fā)的皮秒深紫外激光器在半導(dǎo)體晶圓缺陷檢測等領(lǐng)域獲得應(yīng)用。